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高壓氣體粒子計數器

  • 高壓氣體量測系統用以監測高壓氣體管路之氣體中微粒子含量。
  • HPGP-101-C高壓氣體粒子計數器可用於氧氣、氫氣和大多數無害氣體，亦被用於許多反應性氣體監測的應用。
  • 設備種類：PMS HPGP-101-C
  • 設備能力：
    尺寸通道：8個通道，閾值分別為0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、2.0、3.0、5.0μm

 
離子層析儀

  • 藉由空氣幫浦將空氣中的陰、陽離子溶於水中，並透過離子層析儀系統得知空氣中陰、陽離子濃度。
  • 利用此儀器定期監控無塵室內空氣的陰、陽離子濃度。
  • 設備種類：Metrohm 930
  • 設備能力：
    1. 監控陰離子總類：F-、Cl-、NO2-、Br-、NO3-、PO43-、SO42-
    2. 監控陽離子總類：Na+、NH4+、K+
    3. 機台偵測極限：1ppb
液體粒子計數器

  • 為目前半導體規格檢測儀器，對水中的微粒子進行On line以及Off line檢測，以達到確認水質以及產品清洗潔淨度。
  • 廠內用於檢測Cassette清洗後之潔淨度，評估是否清洗乾淨。
  • 設備種類：RION Liquid-borne Particle Sensor KS-16
  • 設備能力：
    1. 測量尺寸範圍：5個通道：≥0.1µm、≥0.15µm、≥0.2µm、≥0.3µm、≥0.5µm
    2. 流量：10mL/min